Leica DM8000 M & DM12000 M

반도체/FPD 검사 분석 현미경

Leica D12000 M과 DM8000 M은 매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 광학기능을 새롭게 도입하여 12인치 웨이퍼와 8인치 웨이퍼의 검사시 해상력이 향상되고 샘플 처리량(throughput)을 늘립니다.

LED 조명은 현미경에 완전히 통합돼 있어, 램프 하우징의 방해를 받지 않아 현미경 주위의 공기 흐름이 최적화됩니다.  그리고 수명이 길고 전력 소모가 극히 적어 비용을 크게 절감할 수 있으며 친환경적입니다.

버튼만 한번 누르면 배율이나 조명 및 콘트라스트 모드를 변경할 수 있습니다.

주요 특징

주요 기능

Fully Integrated LED Illumination

LED 조명은 반사광과 투과광 모두 현미경에 완전히 통합되어 있습니다.  클린룸을 위한 깨끗한 솔루션 – 방해가 될 램프가 없으므로 현미경 주위에 최적의 공기 흐름을 유지합니다.  전원 LED는 25,000시간(일상적인 8시간 기준 15년 사용)의 매우 긴 수명을 제공하면서도 매우 낮은 전력 소모와 높은 조명 파워를 특징으로 합니다.  4,000K의 색온도는 최대, 중간 및 낮은 강도에서도 동일한 색 표현을 특징으로 일정하므로 CCIC와 같은 임의의 재조정은 필요하지 않습니다.  램프 교체가 필요 없고, 유지 보수를 위한 가동 중지 시간도 없습니다.  비용을 절약하고 생산성을 높이면서 환경을 깨끗하게 유지할 수 있습니다.  필요한 조명에 따라 가시광선(VIS)용 또는 VIS 및 UV용,  두 종류의 조명 시스템을 각각 선택 할 수 있습니다.

Integrated Electronics

TL과 RL 축의 LED 조명뿐만 아니라 강도와 조리개를 제어하고 스테이지와 초점까지도 제어 할 수 있는 전체 전자 장치가 현미경 스탠드에 완전히 통합 되어 있습니다.  스테이지 및 동력 집중을 위한 전원 공급 장치 또는 로직을 위한 박스는 더 이상 필요하지 않으며, 검사 현미경 주위의 공간은 비어 있고 깨끗합니다.

Manual DM8000 M / DM12000 M

고정밀 수동 3단 초점; 35mm 스트로크; 높이 조절이 가능한 포커스노브

•통합 기계식 초점 보호 • 통합 토크 조정 • 높이 조절이 가능한 포커스노브

Leica DM 8000 M 및 DM12000 M 시리즈의 수동 장비는 모든 손을 초점 조절 손잡이에서 완전히 편안하게 쉴 수 있게 합니다.  초점 손잡이는 개별 사용자의 손에 맞게 높이를 정밀하게 조정할 수 있어, 추가적인 팔 받침 없이 손이나 팔, 어깨의 긴장을 방지하고 편안하고 피로가 없는 그립감을 보장합니다.

Motorized DM8000 M / DM12000 M

전동 2 단 초점; 35mm 스트로크; 최소 스텝 3.6nm의 높은 분해능; 높은 반복성 배율조정(대물렌즈 회전)시 초점면이 동일하도록 자동 보상/조정.

Focus Drive (Motorized & Manual)

수동 Leica DM8000 M 및 DM12000 M 검사 현미경은 정밀 3 단 기어 시스템, 샘플 보호 스톱, 토크 조절 메커니즘 및 높이 조절이 가능한 포커스 노브를 특징으로 합니다.  거친 모드, 정밀 모드 또는 초정밀 모드에서 총 주행 거리 35mm를 조정할 수 있습니다.  자동화된 Leica DMDM8000 M 및 DM12000 M 검사 현미경은 35mm의 이동 범위를 가진,  전동식 포커스 드라이브를 갖추고 있으며, 전자 제어식 5가지 속도가 있습니다.  Parfocal 보상은 배율 변경 후 개별적으로 다시 포커싱을 해야 하는 필요성을 없도록 하여, 모든 대물렌즈에서 그에 따른 시간과 노력이 절약될 수 있습니다.

Motorized Aperture Diaphragm

Leica DM8000M과 DM12000M의 전동식 조리개 휠에는 다양한 크기의 17개의 핀홀이 있습니다.  선택한 조리개는 각 대물 렌즈에 대해 개별적으로 기억되어, 재현 가능한 조리개 값을 5 % ~ 100 % 사이에서 적용 할 수 있습니다.  조명 강도와 함께 조리개 크기는 이미지 저장시에 저장되며, 나중에 언제든지 정확하게 다시 생성 할 수 있습니다.  이러한 높은 재현성은 critical defects의 검토 및 분류에 특히 중요합니다.

OBL 버튼을 누르면 전면 패널 조리개 휠의 기능이 변경됩니다.

OBL 모드에서 디스크는 개별적인 대물렌즈와 관련된 위치로 움직이며, AP(개구조리개) 다이얼을 돌리면 디스크가 중간 평면을 가로 질러 매우 미세한 단계로 대각선으로 움직입니다.

Illumination Manager

Leica DM8000M 및 DM12000M 검사용 현미경에는 X/Y 조절식, 모터식 및 코딩 된 조리개 다이어프램과 모터식의 코딩된 대물렌즈가 장착되어 있습니다.  광학 시스템은 FoV 지수가 25로 설계 되었습니다. 이 새롭고 혁신적인 디자인은 필드 다이어프램을 필요로 하지 않습니다.  전동식 노즈피스와 조리개 디스크의 통합으로 Leica DM8000M / DM12000M 수동 및 전동 검사 현미경이 자동 쾰러 조명 조정 기능을 제공합니다.  완전히 통합된 조도 제어시스템은 선택된 대물렌즈를 감지하고 사용된 배율에 대한 조리개 값과 광도에 대한 최적의 값을 자동으로 설정합니다.  이는 검사 시간을 현저히 줄이고 경험이 적은 운영자를 지원합니다.  사용자는 필요한 경우 언제든지 미리 정의 된 값을 덮어 쓸 수 있습니다.  수정된 설정은 자동으로 저장되고, 즉시 새 기본값으로 사용됩니다.

이 조명관리자(Illumination Manager)는 최적의 검사 조건을 설정하고, 간편하게 여러 사용자간 항상 동일한 결과를 도출 할 수 있는 재현성을 발휘 하도록 합니다.

Contrast Manager

자동화된 DM8000M 또는 DM12000M 현미경에 통합된 Contrast manager는 콘트라스트 모드를 쉽고 빠르게 변경할 수 있습니다 :

가변 기능 버튼 중 하나를 누르면 통합되어 있는 4-position reflector turret에서 선택한 Contrast(관찰법)가 자동으로 설정됩니다.  BF와 DIC 사이에서 아주 짧은 시간 내에 전환하거나, UV나 OUV 조차도 Contrast가 1초 이내에 조정됩니다.  이는 자연스럽게 반사경 큐브를 설정하는 것 이상을 포괄하며, 조리개 및 광도의 자동 조정 기능도 포함됩니다.

  • 배율이나 관찰모드(BF, DF, FL, DIC, POL, OBL, UV, OUV)의 변경 시 그에 따른 최적의 콘트라스트를 자동으로 빠르게 맞춰 줍니다.
  • 4-포지션 필터 블록과 개구 조리개 및 조명강도를 관찰 모드에 맞게 자동으로 선택하고 조정하여 줍니다.
  • 검사자가 바뀌어도 동일한 품질의 이미지 구현과 조건 공유로 검사의 재현성을 확보 할 수 있습니다.

Macro Overview Objective

Consists of Macro-Objective and Macro-cube
전동화된 라이카 DM8000M / DM12000M은 넓은 필드의 전체상과 상세한 고해상도 관찰 사이의 빠른 전환을 위해 마이크로 모드와 매크로 모드를 제공합니다. 매크로 대물렌즈는 다른 모든 대물렌즈와 유사하므로 한번에 40 x 40mm의 샘플을 볼 수 있습니다.  이것은 최저 배율의 마이크로 대물렌즈와 비교해서 4배 더 큰 영역을 커버합니다.  Leica Macro 모드는 일반적으로 잔존물이 마이크로 대물렌즈의 높은 배율로 인하여 분간이 잘 안가는 큰 결함들을 조작자가 현미경 하에서 볼 수 있게 해줍니다.  마이크로와 매크로 사이를 전환하는 데는 1초도 채 걸리지 않으며 다른 배율을 선택하는 것만 큼 쉽습니다.  매크로 대물렌즈가 사용 중일 때는 초점 심도가 매우 크기 때문에, 초점 재조정이 필요하지 않습니다.

Fast switchable UV and OUV Contrast

샘플 이미지의 더 높은 해상도를 얻으려면 DM8000M / DM12000M을 한번 클릭하면 됩니다.  자외선 버튼을 누르면 가시 광선이 차단되고, 365nm 파장의 자외선으로 샘플이 1초 이내에 조명되어 0.14um까지 분해 할 수 있는 구조 크기가 줄어 듭니다.  OUV 모드, 예를 들어 고해상도 에지 검사를 가능하게 하는 조정 가능한 UV조명 빔은 완전히 새로운 시각적 경험을 얻기 위해 단지 버튼 한번 클릭만으로 충분합니다.

UV mode

  • 조명 파장의 ca. 550 nm ~ 365 nm (i-line).
  • 자외선은 인간에게는 보이지 않으므로, 특수 UV 카메라 키트가 필요합니다.
  • UV / VIS 튜브에는 특수 보호 광학 장치가 내장되어 있으므로 접안튜브에는 자외선이 없습니다.
  • VIS에서 UV로 전환하면 조명기와 카메라 포트가 자동으로 변경됩니다.
  • VIS에서 UV로 1초 미만으로 전환됩니다.

Fast switchable UV and OUV Contrast

일반적으로 UV 기능은 전면 패널의 3 개의 프로그램 가능 버튼 중 하나에 지정됨.

UV 버튼을 누르면, UV버튼 내부의 LED 조차도 강조 표시됩니다.  이 버튼을 다시 누르면 UV에서 VIS로 또는 그 반대로, UV LED가 꺼지고 VIS LED가 켜지는 식으로 전환 됩니다.  BF/UV 큐브는 VIS 및 UV에 모두 대응할 수 있기 때문에 이러한 부품을 회전/변경 할 필요가 없이 VIS와 UV 사이를 매우 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다.  UV이미징은 PC의 모니터에서만 볼 수 있습니다.

Integrated Oblique Illumination

투명 필름이나 태양 전지와 같은 것들의 edge들을 빠르게 검사하기 위해서 Oblique 조명은 Leica DM8000M/DM12000M에 각각 통합되어 있습니다.

OBL버튼을 누름으로써, 작업자는 빔 경로의 어느 편향 각을 적용하여 최상의 방법으로 신속하고 신뢰할 수 있는 지형 정보와 함께 샘플을 검사할 수 있습니다.

비스듬한 조명은 BF 또는 DIC와 같은 가시광선 콘트라스트 모드뿐만 아니라 OUV 모드의 UV 광과도 결합됩니다.