Leica EM ACE600

Sputter, carbon and e-beam coater

TEM 분석과 FE-SEM 분석에 필요한 고해상도를 얻기 위한 코팅 사용자의 선택

Leica EM ACE600은 FE-SEM 애플리케이션과 TEM 애플리케이션에 고해상도 분석에 필요한 극히 얇고 섬세한 전도성 금속 코팅이나 카본 코팅을 생성하는 다목적 진공 필름 증착 시스템입니다.

본 고진공 코팅기는 스퍼터링, 탄소 스레드(carbon thread) 증발, 탄소봉(carbon rod) 증발, 전자빔(E-beam) 증발, 글로우 방전 등의 용도로 구성할 수 있습니다.

Leica EM ACE600에 맞춘 진공 극저온 전환 시스템인 Leica EM VCT는 오염이 없는 극저온 SEM 샘플 준비에 이상적인 솔루션이 됩니다.

 

 

 

ACE600 코터에는 무엇이 있습니까?

ACE600은 스퍼터링, 카본 스레드, 카본로드 및 e- 빔 증발 코팅 방법을 제공합니다. 동일한 기기에서 최대 두 가지 방법을 동시에 사용할 수 있습니다. 또한 글로우 방전은 기기에서 수행 할 수 있습니다. 따라서 개별 응용 프로그램에 가장 적합한 방법을 유연하게 선택할 수 있습니다. 이것은 금속 진공 챔버에 부착 된 기울어진 소스 및 100mm 이상의 스테이지 크기에서 균일하게 분포 된 박막 코팅을 허용하는 회전 스테이지로 실현됩니다. 이러한 설정으로 인해 일반 코터를 극저온 스테이지가있는 코터로 업그레이드하여 동결 파단 적용을 수행하고 Leica EM VCT500에 연결할 수 있으며, 다시 Cryo SEM으로 이송 될 수 있습니다.

초박형 카본 막막

탄소 코팅은 전자 현미경 검사법에 여러 용도로 사용됩니다. 전도성이지만 전자 빔에는 보이지 않으며 입자 구조가 없습니다. TEM 이미징을 위한 전도도 추가나 TEM 분석을 위한 섹션위에 박막 코팅을 할 수 있습니다. 더욱이 많은 샘플들은 TEM 그리드상의 탄소 박막이 처리되도록 요구됩니다. 박막은 가능한 한 얇고 견고하며 안정적이어야합니다. 적응형 펄스 탄소 스레드 방법을 사용하면 오염을 줄이기 위해 베이크아웃(가열에 의해 제거) 될 수있는 박막이 생성됩니다.

시료는 민감하며 보호가 필요합니다

사전에 여러 단계와 몇 시간 전에 준비된 종종 부서지기 쉬운 귀중한 EM 시료는 분석 전자 빔으로부터 보호해야합니다. 중금속 코팅은 빔 손상으로부터 시료를 보호할 것입니다. 목표는 신호와 전도도를 향상시키고 충분한 보호를 제공하면서 흥미로운 특질들을 덮어버리지 않도록 가능한한 얇게 코팅하는 것입니다.

마지막 단계에서 어떤 일이 일어나는지 알기

정확하게 측정되고 안정적인 파라미터는 재현 가능한 성능의 핵심입니다. 완전 자동화 된 코팅 공정은 각 실행 조건이 동일하도록 보장합니다. 그외에도 기기의 작동은 간단합니다. 특수 밸브 솔루션은 스퍼터 코팅 중 정확하고 안정적인 아르곤 압력과 스테이지 중간의 수정 결정 두께 측정을 보장하여 결과를 완벽하게 제어합니다. 코팅 된 층의 입도에 기여하는 사전 진공 레벨은 고해상도 이미징을 위해 10-6mbar (더 높은 진공도 조차도 가능) 값 까지 설정 될 수 있으며 간단하고 빠른 프로세스가 가능합니다. 이미징 분석이 긍정적일 것이라는 확신을줍니다.

가장 작은 특질의 가시화

단백질 또는 DNA 가닥과 같은 nm 스케일 구조를 볼 수 있으려면 특수 코팅이 필요합니다. 낮은 각도로 코팅하면 눈에 보이는 그림자가 만들어집니다. 이를 위해서는 코팅이 방향성, 미세결정 및 정밀한 한 자리 각도 여야합니다. 전동식 3 축 이동 스테이지와 함께 전자빔 소스는 이러한 모든 기능을 제공합니다.

… 그리고 더 많은 보호

샘플은 코팅 공정 자체로 생기는  열로부터 보호되는 것이 필요합니다.  ACE600에 의해 제공되는 모든 코팅 방법은 시료에 열을 전달하지 않도록 최적화되어 있습니다. 적응 형 펄스 탄소 스레드 방법은 순간적으로 만 탄소 스레드를 가열하고, 스퍼터링 프로세스는 자기장과 함께 작동하므로 타겟 원자를 방출하는 데 더 적은 전력이 필요하며 전자빔 증발은 셔터와 조리개 시스템으로 작동합니다. 작열하는 필라멘트로부터 샘플을 보호하십시오.