Leica EM RES102

Ion Beam Milling System

TEM, SEM, FIB, LM 사용자를 위한 이온빔 밀링 시스템

Leica EM RES102는 얇고 깨끗하며 광택이 있으며 경사를 절단하고 시료의 유연성을 극대화합니다. 독특한 이 이온 빔 밀링 시스템은 단일 벤치 탑 장치에서 TEM, SEM, FIB 및 LM(광학현미경) 샘플의 처리를 할수 있도록 디지인되어 있습니다.

그리고 시료를 Thin, Clean, polish, cut slopes 및 Structure하는데 최적화되어 있으며, 하나의 Bench-top 장비에 TEM, SEM 및 LM 시료 정처리 기능이 결함된 유일한 이온밀링 시스템 입니다.

또한 여러가지 샘플 홀더를 사용하여 각종 다양한 애플리케이션에 사용 할 수있으며, 고 에너지 뿐만 아니라 낮은 이온 에너지를 사용하여 매우 부드러운 시료 처리에도 사용 할 수 있습니다.

효과적이고 비용 효율적

  • Effective and Cost efficient
  • TEM, SEM 및 LM(광학현미경) 시료의 전처리가 하나로 결합된 시스템
  • 최대 지름 25mm의 SEM 샘플 전처리 가능
  • TEM 분석을 위한 대형 전자 투명 영역의 생산과 TEM 샘플 준비 개선 효과
  • 원격 제어 및 모니터링을 위한 LAN 기능

안전

이온 소스 및 샘플 이동을 프로그램으로 제어함으로써 재현성 있는 결과 제공

천연 그대로의 샘플

온도에 민감한 샘플 보존을 위한 LN2 시료 stage 장착 가능

쉬운 조작

  • 통합 애플리케이션 라이브러리
  • 초보자 및 유지 보수를 위한 통합 사용 지침 동영상 및 도움 파일 (help file) 내장

TEM 또는 SEM 전처리 – 선택 사항

다양한 적용 가능성을 지원하기 위해 Leica EM RES102에는 TEM, SEM, FIB 및 LM 샘플을 준비하기위한 다양한 샘플 홀더가 장착 될 수 있습니다. 로드락 (load-lock) 시스템은 빠른 샘플 교환으로 높은 샘플 처리량을 보장합니다.

 

 

 

SEM

주변 온도 또는 LN2 냉각으로 SEM 및 LM 샘플의 클리닝, 연마 및 콘트라스트 향상을 위한 샘플 홀더.  SEM 홀더를 사용하면 최대 25mm 직경의 샘플 크기를 처리 할 수 있습니다.  3.1mm 직경의 핀으로 시판되는 SEM 스터브를 고정하기 위해 어댑터가 제공됩니다.

SEM

수직 구조물 샘플의 SEM 조사를위한 단면 (90°) 및 앵글 섹션 (35°) 제작용 경사 커터 홀더.  시편은 상온 또는 LN2 냉각 환경 온도에서 처리 할 수 있습니다.

SEM

최대 치수가 5 (H) x 7 (W) x 2 (D) mm 인 작은 샘플을 담는 SEM 클램프 홀더.  이 홀더는 샘플을 제거하지 않고도 SEM으로 직접 쉽게 옮길 수 있습니다.

 

TEM

4°까지 단면 및 양면 낮은 각도의 밀링을 위한 샘플 홀더 (퀵 클램프 홀더).

TEM

LN2 냉각 장치와 함께 온도에 민감한 샘플을 준비하기위한 냉각 홀더.

FIB

FIB 샘플의 비정질화 된 층을 감소시키는 데 사용되는 세척 홀더.

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