나노 CT 및 FE-SEM (하이브리드)
CT-NANO는 경금속 합금 및 섬유 복합재와 같은 표본에 대한 Nano-CT 측정 기능을 갖춘 완전 작동식 주사 전자 현미경입니다.
30 nm ~ 3 µm 범위의 Voxel 크기, 최대 5500x의 기하학적 배율과 30 keV의 최대 광자 에너지를 제공합니다. EDS-Detector는 표본의 XRF 신호와 CT-NANO의 재구성된 체적(3D 형상) 사이에서 추가 상관 관계를 제공합니다.
CT-NANO는이 에너지 수준에서 시장에서 사용할 수있는 최고의 해상도를 가지고 있어, 이전에는 불가능했던 재료 나 구조를 검사 할 수 있습니다.
Features
- X-ray Computed Tomography (nanoCT)
- Scanning Electron Microscope (SEM)
- Digital Radiography (DR)
- Energy-Dispersive X-ray spectroscopy (EDX)
- 3D volume CT
- Non-destructive testing (NDT) – 2D and 3D
- Quality control independent of material
- Defect recognition (voids, cracks, …)
- Radiation safety better than 1 µSv/h
Resolution
Resolution-test with Siemens-Star 50nm
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