3D Optical Microscopes / Profilometers
나노미터 해상도의 3D 광학 프로필로미터 – 자동 형상 측정 및 분석 기능을 갖춘 고급 모듈식 3D 광학 프로파일러입니다.
최고의 3D 광학 프로파일로미터 중에서 선택하십시오.
고해상도 3D 광학 프로파일로미터는 하나의 플랫폼에서 많은 광학 이미징 기술을 결합하여 모든 재료의 거칠기, 계단 높이, 구조, 형상, 두께 등을 고속으로 측정합니다.
공초점 현미경 + 간섭계 + AFM, 라만, 분광 막 두께 등
공초점 현미경 + 간섭계 + 암시야 이미징 등
백색광 간섭계
왜 3D 광학 프로파일로미터 인가?
Rtec Instruments 광학 프로파일러의 혁신적인 표면 프로파일링은 모든 표면을 쉽게 분석합니다. 단일 플랫폼에서 이미지를 확대하고 프로파일로메트리 기능을 nm에서 mm까지 측정합니다.
결과적으로 당사의 광학 시스템은 클릭 한 번으로 원자 구조를 조사합니다. 또한 당사의 광학 프로파일러는 거칠기, 파형, 필름 두께 및 화학적 특성 맵을 측정합니다. 이 포괄적인 표면 프로파일링 접근 방식은 업계 최초입니다.
모든 샘플 및 상황에 대한 표면 분석
Wafers and Semiconductors
최대 300 × 300 mm의 스테이지로 전체 웨이퍼, 장치 및 박막을 분석합니다. 결함, 구조, 단층 높이, 두께, 입자 등을 확인하십시오. 동일한 영역에 대해 AFM, Raman 및 3D 광학 프로필로미터 데이터를 결합 할 수 있습니다.
3D 광학 현미경이란 무엇입니까?
3D 광학 현미경은 3차원 표면 지형을 특성화합니다. 첫째, 여러 표면 이미지를 광학적으로 캡처합니다. 그런 다음 현미경은 XYZ 축에서 이미지를 함께 연결합니다. 마지막으로 데이터를 정량화하여 거칠기, 단차 높이, 필름 두께, 곡률, 휨 및 결함을 계산합니다. 그러나 기존의 2D 광학 현미경 으로는 이 모든 것이 불가능합니다 . 당사의 3D 광학 프로파일러는 정량적 3D 표면을 제공하는 기술 조합을 사용합니다. 아래에서 이러한 기술에 대해 자세히 알아보세요.