고속 카메라
200FPS의 속도로 업계 최고의 카메라에의한 빠른 서브나노메타의 정밀 측정.
최고 Z 해상도
최신 엔코더는 스캐닝 거리나 사용된 배율과 관계없이 최고의 Z 해상도를 제공합니다.
모듈식 다목적 플랫폼
300 x 300mm 고정밀 크로스 롤러 XY 스테이지는 웨이퍼, 장치, 박막, 부품, 절단 시료 등 모든 샘플에 적합합니다.
강력한 소프트웨어
나노미터 분해능 연구를 위한 정밀하고 정량적이며 ISO를 준수하는 분석 소프트웨어입니다.
다른 광학 현미경과 달리
UP-5000은 하나의 플랫폼에서 다양한 광학 기술을 6-in-1로 조합한 것입니다. 결과적으로 당사의 광학 현미경은 nm 해상도로 거의 모든 종류의 샘플을 측정할 수 있습니다.
가변 초점 이미징
서로 다른 초점면에서 샘플을 촬영한 일련의 3D 표면 슬라이스를 통해 초점 변화가 있는 전체 초점 3D 이미지가 생성됩니다. 큰 Z축 스캐닝 범위에 사용됩니다.
초고속 필름 두께 결정
필름 두께 측정 모듈은 분광 반사율을 사용하여 코팅된 표면의두께를 얻습니다. 클릭 한 번으로 간편하게 시료를 측정하는 데 경험이 필요하지 않습니다. 당사의 광범위한 재료 라이브러리(500개 이상)와 다중 샘플 측정은 정밀한 두께 분석을 제공합니다. 매번 비접촉 고정밀 단차 높이와 두께 측정.
Principle of spectral film thickness measurement
암시야 이미징 모드
당사의 Dark Field Imaging은 클릭 한 번으로 균열과 결함을 찾아내며 결함, 입자, 균열 등을 빠르게 감지하기 위한 고대비 및 고해상도 데이터를 제공합니다. 그리고 최고 해상도로 전체 샘플을 빠르게 스캔합니다.
원자 현미경 (AFM)
해상도가 광파 길이를 초과할 경우 AFM은 나노 스케일 해상도를 제공하여 가장 작은 특징을 식별합니다. AFM에는 거칠기, 결점, 형상 크기, 위상 및 게인 경계를 쉽게 측정할 수 있는 몇 가지 공통 테스트 모듈이 함께 제공됩니다. 클릭 한 번으로 AFM과 광학 프로파일미터로 동일한 샘플 표면적을 촬영할 수 있습니다.
간편한 3단계 이미징: 1)이미징 레시피 로드 – 2)시작을 클릭 – 3)이미지에 감탄! 또는 필요한 완벽한 맞춤형 이미지 피팅을 위해 광학 현미경의 각 동작을 프로그래밍합니다.