제품소개
Leica DM8000 & DM12000 M
반도체/디스플레이 검사 현미경
버튼만 한번 누르면 배율이나 조명 내지 콘트라스트 모드를 변경할 수 있습니다.
Leica D12000 M은 매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 광학기능을 새롭게 도입하여 12인치 웨이퍼의 검사 시 해상력이 향상되고 샘플 처리량(throughput)을 늘립니다.
LED 조명은 현미경에 완전히 통합돼 있습니다. 램프 하우징의 방해를 받지 않아 현미경 주위의 공기 흐름이 최적화됩니다. 수명이 길고 전력 소모가 극히 적어 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
Motorized DM8000 M / DM12000 M
전동 2 단 초점; 35 mm Z축 스트로크; 최소 스텝 3.6 nm의 높은 분해능; 높은 반복성 배율조정(대물렌즈 회전)시 초점면이 동일하도록 자동 보상/조정.
Manual DM8000 M / DM12000 M
고정밀 수동 3단 초점; 35 mm 스트로크; 높이 조절이 가능한 포커스노브
• 통합 기계식 초점 보호 • 통합 토크 조정 • 높이 조절이 가능한 포커스노브
Leica DM 8000 M 및 DM12000 M 시리즈의 수동 장비는 모든 손을 초점 조절 손잡이에서 완전히 편안하게 쉴 수 있게 합니다. 초점 손잡이는 개별 사용자의 손에 맞게 높이를 정밀하게 조정할 수 있어, 추가적인 팔 받침 없이 손이나 팔, 어깨의 긴장을 방지하고 편안하고 피로가 없는 그립감을 보장합니다.
Illumination Manager
이 조명 관리자는 최적의 검사 조건을 설정하고, 간편하게 여러 사용자간 항상 동일한 결과를 도출 할 수 있는 재현성을 발휘 하도록 합니다.
전동식 노즈피스와 조리개 디스크의 통합으로 Leica DM8000M / DM12000M 수동 및 전동 검사 현미경이 자동 쾰러 조명 조정 기능을 제공합니다. 완전히 통합된 조도 제어시스템은 선택된 대물렌즈를 감지하고 사용된 배율에 대한 조리개 값과 광도에 대한 최적의 값을 자동으로 설정합니다. 이는 검사 시간을 현저히 줄이고 경험이 적은 운영자를 지원합니다. 사용자는 필요한 경우 언제든지 미리 정의 된 값을 덮어 쓸 수 있습니다. 수정된 설정은 자동으로 저장되고, 즉시 새 기본값으로 사용됩니다.
Contrast Manager
자동화된 DM8000M 또는 DM12000M 현미경에 통합된 Contrast manager는 콘트라스트 모드를 쉽고 빠르게 변경할 수 있습니다 :
가변 기능 버튼 중 하나를 누르면 통합되어 있는 4-position reflector turret에서 선택한 Contrast(관찰법)가 자동으로 설정됩니다. BF와 DIC 사이에서 아주 짧은 시간 내에 전환하거나, UV나 OUV 조차도 Contrast가 1초 이내에 조정됩니다. 이는 자연스럽게 반사경 큐브를 설정하는 것 이상을 포괄하며, 조리개 및 광도의 자동 조정 기능도 포함됩니다.
• 배율이나 관찰모드(BF, DF, FL, DIC, POL, OBL, UV, OUV)의 변경 시 그에 따른 최적의 콘트라스트를 자동으로 빠르게 맞춰 줍니다.
• 4-포지션 필터 블록과 개구 조리개 및 조명강도를 관찰 모드에 맞게 자동으로 선택하고 조정하여 줍니다.
• 검사자가 바뀌어도 동일한 품질의 이미지 구현과 조건 공유로 검사의 재현성을 확보 할 수 있습니다.
Integrated Oblique Illumination
투명 필름이나 태양 전지와 같은 것들의 edge들을 빠르게 검사하기 위해서 Oblique 조명은 Leica DM8000M/DM12000M에 각각 통합되어 있습니다.
OBL버튼을 누름으로써, 작업자는 빔 경로의 어느 편향 각을 적용하여 최상의 방법으로 신속하고 신뢰할 수 있는 지형 정보와 함께 샘플을 검사할 수 있습니다. 비스듬한 조명은 BF 또는 DIC와 같은 가시광선 콘트라스트 모드뿐만 아니라 OUV 모드의 UV 광과도 결합됩니다.
Macro Overview Objective
전동화된 라이카 DM8000M / DM12000M은 넓은 필드의 전체상과 상세한 고해상도 관찰 사이의 빠른 전환을 위해 마이크로 모드와 매크로 모드를 제공합니다. 매크로 대물렌즈는 다른 모든 대물렌즈와 유사하므로 한번에 40 x 40mm의 샘플을 볼 수 있습니다. 이것은 최저 배율의 마이크로 대물렌즈와 비교해서 약 4배 더 큰 영역을 커버합니다. 마이크로와 매크로 사이를 전환하는 데는 1초도 채 걸리지 않으며, 매크로 대물렌즈가 사용 중일 때는 초점 심도가 매우 크기 때문에, 초점 재조정이 필요하지 않습니다.
Fast switchable UV and OUV Contrast
샘플 이미지의 더 높은 해상도를 얻으려면 DM8000M / DM12000M을 한번 클릭하면 됩니다. 자외선 버튼을 누르면 가시 광선이 차단되고, 365nm 파장의 자외선으로 샘플이 1초 이내에 조명되어 0.14um까지 분해 할 수 있는 구조 크기가 줄어 듭니다. OUV 모드, 예를 들어 고해상도 에지 검사를 가능하게 하는 조정 가능한 UV조명 빔은 완전히 새로운 시각적 경험을 얻기 위해 단지 버튼 한번 클릭만으로 충분합니다.
UV Mode
• 조명 파장의 ca. 550 nm ~ 365 nm (i-line).
• UV / VIS 튜브에는 특수 보호 장치가 내장되어 있어서 접안튜브에는 자외선이 없습니다.
• 자외선은 인간에게는 보이지 않으므로, 특수 UV 카메라 키트가 필요합니다.
• VIS에서 UV로 전환하면 조명기와 카메라 포트가 자동으로 변경됩니다.
• VIS에서 UV로 1초 미만으로 전환됩니다.
