이 시스템은 최첨단 부품들을 결합하여 최고의 해상도를 제공합니다. 하드웨어 및 소프트웨어 설계 분야에서 쌓아온 풍부한 경험을 바탕으로 고객의 개별적인 요구에 완벽하게 맞춘 시스템을 제공합니다. 고정밀 부품만을 사용하는 것은 물론, 최첨단 재구성 알고리즘도 자체 개발했습니다.
이 시스템의 주요 구성 요소 중 하나는 Excillum의 고성능 X선 소스인 NanoTube N3입니다. 최대 160kV의 X선 튜브에 최신 텅스텐-다이아몬드 투과 타겟 기술, 자동 전자빔 초점 조절 및 비점수차 보정 기능을 적용하여 최소형의 완벽한 원형 X선 스팟을 구현합니다.
두 번째 주요 구성 요소는 DECTRIS의 광자 계수 X선 검출기입니다. 이 검출기는 판독 잡음과 암전류가 없어 최적의 신호 대 잡음비를 제공합니다. 또한, 이중 에너지 판별 기능을 통해 디지털 스펙트럼 조정이 가능합니다.
두 개의 독립적인 매니퓨레이션 시스템을 통해 검출기와 시료를 매우 정밀하게 위치시킬 수 있습니다. 고정밀 공기 베어링 회전 스테이지는 3자유도(DOFs) 선형 위치 결정 시스템 위에 장착되어 시료를 정밀하게 회전시킵니다. 회전 스테이지 상단에는 시료 위치를 회전 중심에 자동으로 조정하는 별도의 조작 시스템(2DOFs)이 설치되어 있습니다.