현미경 및 비파괴 검사기 전문 (주)와이에스피

CT-NANO

CT 현미경

당사의 CT 현미경은 고해상도 이상의 것이 필요한 상황에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 이 시스템은 시장에서 가장 높은 해상도를 제공하도록 특별히 개발되었습니다.

재료 연구, 생명 과학, 천연 자원 및 산업 응용 분야를 위한 3D X선 이미징을 통해 시각화의 새로운 가능성을 탐색해 보세요.

CT-NANO (XRM)

CT-NANO 주요 특징

  • X선 컴퓨터 단층촬영(nanoCT)
  • 주사전자현미경(SEM)
  • 디지털 방사선 촬영(DR)
  • 에너지 분산형 X선 분광법(EDX)
  • 3D볼륨CT
  •  비파괴 검사(NDT) – 2D 및 3D
  •  재료와 무관한 품질 관리
  •  결함 인식(공극, 균열 등)
  •  1 µSv/h보다 우수한 방사선 안전성

고해상도 전자현미경

CT-NANO는 해당 에너지 대역에서 시장 최고 수준의 분해능을 제공하여, 이전에는 불가능했던 소재나 구조에 대한 검사를 가능하게 합니다.

CT-NANO는 경금속 합금이나 섬유 복합재와 같은 시료에 대해 Nano-CT 측정이 가능한, 완전한 기능을 갖춘 주사전자현미경(SEM) 기반 장비입니다.

이 장비는 30nm에서 10μm 범위의 복셀(voxel) 크기, 최대 50nm(FWHM) 수준의 기하학적 분해능, 그리고 최대 30keV의 광자 에너지를 제공합니다. 또한 EDS 검출기를 탑재하여 시료의 XRF 신호와 CT-NANO로 재구성된 볼륨 데이터 간의 상관관계를 분석할 수 있습니다.

직접 검출 방식(direct-converting) 검출기와 최적화된 시야(FOV)를 통해 대표성 있는 검사 영역을 제공합니다. CT-NANO X선 현미경은 주사전자현미경을 기반으로 하며, 전자빔을 초미세 바늘(needle)에 조사하여 초점 크기(focal spot size) 70nm의 X선을 발생시키는 방식을 사용합니다.

XRM의 구조

XRM II : 샘플과 X선 소스가 전자현미경 내부에 있습니다.

해상도 테스트

Siemens-Star 50nm 표준시편을 사용한 해상도 테스트에서 여전히 잘 보입니다.
라멜라 공융 구조 평가
알루미늄 합금 실린더의 REM 이미지, 노출 시간 300초

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